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佳能安內(nèi)華 M-361CP-SPN25 工業(yè)真空機真空測量傳感器介紹

發(fā)布時間:2026-05-14   點擊次數(shù):90次

產(chǎn)品簡述

該設(shè)備為佳能安內(nèi)華復合式真空規(guī),集成皮拉尼規(guī)與冷陰極電離規(guī)一體化結(jié)構(gòu),用于真空系統(tǒng)全程壓力監(jiān)測,一體式封裝,標配 NW25 連接接口。

二、測量原理

  1. 皮拉尼規(guī):依托氣體熱傳導變化檢測氣壓,適用中低真空區(qū)間。

  2. 冷陰極電離規(guī):電場激勵氣體電離實現(xiàn)高真空測量,無熱燈絲結(jié)構(gòu),規(guī)避燈絲老化燒毀問題。

  3. 內(nèi)部電路自動實現(xiàn)雙規(guī)區(qū)間無縫切換,連續(xù)覆蓋全量程壓力檢測。

三、核心技術(shù)參數(shù)

  • 測量量程:1×10?7Pa1×105Pa

  • 供電電壓:DC 15~30V

  • 整機功耗:2.4W

  • 模擬信號輸出:0~10V 標準電壓信號

  • 開關(guān)輸出:兩路繼電器觸點輸出

  • 電氣接口:D-sub 9 針連接器

  • 連接法蘭:NW25 標準真空法蘭

  • 工作環(huán)境溫度:5℃~55℃

  • 主體結(jié)構(gòu)材質(zhì):不銹鋼殼體,氧化鋁絕緣基材

四、結(jié)構(gòu)與特性

  1. 無燈絲冷陰極設(shè)計,抗污染、耐水汽,適合工業(yè)及制程真空環(huán)境。

  2. 寬量程一體化設(shè)計,無需搭配多臺不同量程真空規(guī)。

  3. 內(nèi)置信號處理電路,壓力數(shù)值輸出線性度好,區(qū)間切換無跳變。

  4. 模塊化傳感結(jié)構(gòu),可單獨拆裝維護,無需整體拆解真空腔體。

五、適用工況范圍

適配各類真空腔體、鍍膜設(shè)備、半導體工藝設(shè)備、真空熱處理裝置、科研真空實驗平臺的全程真空壓力實時采集與監(jiān)測。



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